探针式表面轮廓仪(-)
型号规格:Bruker-Dektak XT
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DELIVER INFORMATION
送样须知

送样须知:
1、各种固态材料,样品厚度不超过20mm;
2、最大扫描区域是600×400μm,超过这个区域需要拼接,拼接另外计费,每次拼接会有30%区域重叠。

FUNCTION INTRODUCTION
功能介绍

应用于纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量,应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、光学、科学研究和材料科学领域。

Performance parameter
性能参数

1、扫描长度:50μm~55mm;
2、垂直测量范围:1mm;
3、台阶高度重复性:4Å;   
4、探针压力:1~15mg;
5、探针曲率半径:0.2-25um。

TEST CASE
案例分析